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Configuration Of LMS
L사 사용 승인
승인 : 2019년 5월
구성 : 65” Pilot Line
(물류(직선, 교체, Return), Pallet 10ea )
L사 사용 승인
승인 : 2019년 11월
구성 : 고속 이동 물류 (Package Line 적용)
820mm Stroke 1Pitch, Half Pitch
고속, 정밀 위치정밀도 구현(± 5㎛)
Advance
변속 Sputtering물류
- 요구 사양 : 저속, 변속, 가감속 요구
비접촉 전원 공급 SYSTEM 적용
- 공정 반송 SYSTEM , STOCKER , 자동창고 물류 SYSTEM 등
비접촉 전원공급 SYSTEM
LMS 렌더링