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LMS시스템

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Configuration Of LMS

  • 01

    LGD 사용 승인

  • 승인 : 2019년 5월

  • 구성 : 65” Pilot Line
    (물류(직선, 교체, Return), Pallet 10ea )

  • 02

    LGC 사용 승인

  • 승인 : 2019년 11월

  • 구성 : 고속 이동 물류 (Package Line 적용)
    820mm Stroke 1Pitch, Half Pitch
    고속, 정밀 위치정밀도 구현(± 5㎛)

  • 03

    Advance

  • 변속 Sputtering물류
    - 요구 사양 : 저속, 변속, 가감속 요구

  • 비접촉 전원 공급 SYSTEM 적용
    - 공정 반송 SYSTEM , STOCKER , 자동창고 물류 SYSTEM 등

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비접촉 전원공급 SYSTEM

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LMS 렌더링